Ionkilde, apparat til frembringelse af ioner. Ionkilden er en vital del af enhver partikelaccelerator. Alle former for elektriske udladninger er velegnede til at frembringe ioner af de fleste grundstoffer; særlig benyttet er duoplasmatron-, radiofrekvens- og Penning-kilder. Disse ionkilder kræver, at det ønskede grundstof kan bringes på gasform, evt. som en letfordampelig kemisk forbindelse. Andre ionkilder er baseret på laser- eller elektronbeskydning af fast eller dampformigt kildemateriale eller på sputtering-processer fra overflader. Sidstnævnte processer er især velegnede til frembringelse af negative ioner. Meget velfokuserede ionstråler kan opnås ved at benytte feltudsendelse af smeltet metal fra en wolframspids med en radius på nogle få nm.