Røntgenfluorescensspektrograf, apparat, der anvendes til nøjagtig bestemmelse af den kemiske sammensætning af fx mineraler, bjergarter og kunstigt fremstillede materialer. Apparatet kan måle koncentration af grundstoffer ned til få g/t; for visse grundstoffer kan måles endnu lavere koncentrationer. Spektrografen er ligesom elektronmikrosonden et vigtigt hjælpemiddel i geokemisk forskning og industriel kontrol af produkters hoved- og sporgrundstoffer. Analysen foretages på pulveriserede, plane prøver, der er smeltet eller sammenpresset. Prøvematerialet beskydes med røntgenstråling, hvorved elektroner, afhængigt af den anvendte bølgelængde, skydes ud fra de inderste elektronskaller. De ledige pladser fyldes derefter ud af andre elektroner i de nærmeste skaller under udsendelse af sekundær røntgenstråling, som måles. Denne såkaldte fluorescensstråling har forskellig bølgelængde afhængigt af de energispring, som røntgenstrålingen er årsag til i de enkelte grundstoffers atomstrukturer. Prøvens kemiske sammensætning kan derefter bestemmes ved sammenligning.