Ellipsometri, (af ellipse og -metri), teknik til bestemmelse af visse egenskaber ved et materiale ud fra en analyse af polarisation af lys reflekteret fra materialets overflade ved en indfaldsvinkel nær totalrefleksion. Ellipsometri anvendes bl.a. til bestemmelse af brydningsindeks og tykkelsen af tynde film på et substrat. Metoden kan også give oplysning om energibåndstrukturen i materialet.